它在芯片里干什么
CPU、GPU、存储和模拟芯片都由大量晶体管组成。制程越先进,晶体管密度、功耗和速度越关键。
关键材料
硅/锗硅沟道
高 k 介质
金属栅
掺杂气体
关键设备
离子注入机
ALD/CVD
刻蚀机
退火设备
量测设备
核心指标
栅长
阈值电压
漏电
良率
PPA