它在芯片里干什么
几乎每轮关键工艺之后都要清洗。先进制程对金属离子和颗粒控制要求达到 ppb/ppt 级别。
关键材料
电子级硫酸
双氧水
氢氟酸
氨水
IPA
超纯水
关键设备
单片清洗设备
槽式清洗设备
去胶设备
核心指标
金属离子
颗粒
腐蚀选择性
批次稳定性